2013年9月2日，日本岛津制作所将为半导体和平板显示器制造商推出该公司新的“TMP-X2905/X3405”系列涡轮分子泵，该系列涡轮分子泵具有集成电源和3000升/秒级泵速。
涡轮分子泵(TMP)产生真空由于高速旋转的涡轮机，使真空泵在分子流水平。TMP是必不可少的半导体和平板显示器的制造，在那里无油，清洁，高真空是必不可少的。
这个系列的泵是非常多功能的，紧凑的集成电源安装在轻和硬过程中。
岛津公司将TMP定位为其产品组合中的全球战略产品，并将TMP-X系列的销售扩大到北美、台湾、韩国和中国。
出身背景
随着半导体、平板显示器等电子设备的价格下跌，为降低半导体、平板显示器制造设备的成本，需要创新方法的呼声日益高2020欧洲杯下注官网涨。
关于连接到制造设备上的涡轮分子泵，越来越需要从使用单独电缆连接电源的泵转移到将电源集成到TMP本体中的泵。这种“集成2020欧洲杯下注官网电源”TMP将减少制造设备的零件数量，并降低成本。
岛津公司已经在销售TMP-V系列泵，该泵配有集成电源，用于泵送用于“光处理”的溅射系统中的惰性气体。该系列泵在全球获得了良好的客户评价。TMP-X系列是为抽送蚀刻设备中使用的腐蚀性气体而开发的，也就是所谓的“硬加工”。2020欧洲杯下注官网
值得注意的是，TMP-X系列将提供从300 L/s到4000 L/s的泵送速度，以满足半导体和平板显示器制造商的多方面需求。
细节
TMP-X系列的主要特点
1.业界最紧凑的TMP，带有集成电源。
对传统集成电源TMP的重新设计使新泵的高度降低了15%，同时保持了泵的性能。此外，TMP-X泵的尺寸几乎与传统TMP的主体相同，具有用于硬处理的独立电源电缆。
TMP-X系列的泵不需要机架和电缆——就像传统的独立电源tmp一样——因此，该系列在低成本、小占地面积的制造设备的设计上提供了更大程度的自由度。2020欧洲杯下注官网
2.处理使用腐蚀性气体的硬过程
泵温度控制功能的结合和电机功率输出的改善使得TMP-X系列泵能够用于涉及高气体流量和反应气体的制造过程。
此外，岛津公司继续在新泵中采用防腐涂层和动态密封，从而防止了TMP的腐蚀，并确保了即使在采用高腐蚀性气体的硬流程中也具有高可靠性。
3.低功耗
与传统涡轮分子泵相比，新开发的动力装置和高效电机的使用使功耗降低了15%（在零负载条件下）。该系列TMP对环境具有低负载影响。