牛津仪器等离子技术(OIPT)中,等离子体蚀刻和沉积系统的世界的主要制造商之一,刚刚收到的订单从Nanoplus在德国的离子束沉积和对新颖类型的半导体激光器的生产中使用的等离子蚀刻系统。
纳米孔在多个波长范围内产生半导体激光器,对于许多具有广泛应用的许多不同客户。
所述Ionfab300加离子束沉积为多批盒装载工具,允许多个应用程序和各种客户在一个负载要产生许多设备。该Ionfab300 Plus将用于激光棒端面涂层与抗反射和高反射多层膜,和所述PlasmaPro System100 RIE系统将用于GaAs和InP化合物蚀刻。
大卫·皮尔森博士,OIPT的高级离子束技术专家的意见,“我们Ionfab光学涂层工具成为选择的工具,许多类型的精密光学镀膜的世界各地,特别是在激光应用。”
“NanoPlus是一种用于传感,计量,光谱和电信应用的单模DFB激光器的国际领先供应商。我们甚至有我们的美国航空航天局的火星好奇心罗孚的传感器之一。”阿尔弗雷德Forchel评论博士,教授,Nanoplus的创始人,“我们选择了其多功能性牛津仪器系统,卓越的技术能力和出色的客户支持。”
弗雷泽安德森,业务集团总监牛津仪器说,“我们的工具提供了理想的平台进行生产,以及在许多新的应用领域研发和激光酒吧端面涂层只是其中之一。我们优良的工艺应用团队和全球服务支持,确保我们的客户都在各方面的支持,可以在他们的牛津仪器系统最大正常运行时间和可靠性计数“。