普朗西先进的标准设计由高性能金属、石墨和陶瓷制成，可用于全球大多数商用离子注入工具。
PLANSEE的最新开发是一种长寿命离子源，用于Nissin的EXCEND IHC 9600注入系统。在大批量制造环境中，该来源已由主要IDM成功鉴定。
由设计缺陷和源重建不一致引起的电弧短路和不稳定是过早更换OEM设计的离子源的最常见原因。尽管标准光源灯丝的预期使用寿命可达400小时，但由于此类缺陷和不一致性，离子源平均仅需300小时就需要更换。
电弧短路可由电弧室周围部件上的导电材料沉积引起。当掺杂气体/蒸汽和蚀刻或溅射组件材料从电弧室逸出并在周围组件上冷凝时，会产生这些沉积物。当导电电桥跨越绝缘体时，就会发生直接电弧短路或不稳定。即使是系统内的瞬间不稳定也会破坏植入过程，直到最终更换源。欧洲杯足球竞彩
这个问题启发了PLANSEE离子注入设计团队开发新的EXCEND IHC 9600源。其中，PLANSEE团队屏蔽并重新设计了电弧室的绝缘部件，以匹配灯丝的预期使用寿命。这些改进可保护绝缘体和组件免受导电沉积物的影响，从而延长电源寿命，提高宝贵设备的正常运行时间。2020欧洲杯下注官网
简化翻新
复杂的重建程序也给工程师和技术人员带来了挑战。标准OEM设计源有超过115个独立组件；重新组装是一个耗时且容易出错的过程。PLANSEE Advanced标准离子源的组件减少了33%，使源的重新组装更容易、更可靠。PLANSEE半导体解决方案产品开发负责人Mike Reilly指出：“稳定的电弧和可靠的重建对束流和均匀性的影响是相当大的，尤其是当用户在其设备的极限下工作时。在这种情况下，PLANSEE的工作人员能够在不牺牲任何性能的情况下优化Exter IHC 9600离子注入机的源可靠性。”2020欧洲杯下注官网
新的9600源设计在2013年第一季度得到验证，目前正在亚洲顶级IDM的大批量生产中运行，取代了OEM设计。PLANSEE亚洲销售和营销经理Stephen Kampa补充道：“先进标准电源的使用寿命平均从300小时提高到400小时。由于离子源是离子注入系统中成本最高的部件，因此我们所采取的措施立即为我们的客户带来了回报。我们的设计在市场上的迅速采用进一步证明了PLANSEE团队能够为我们的全球客户群提供的价值。”
关于计划见：
PLANSEE高性能材料公司是钼、钨、钽、铌和铬组欧洲杯足球竞彩件领域的专家。普朗西的合金和复合材料在电子、涂层技术或高温熔炉中独树一帜——无论是在传统材料超出其极限的地方。
PLANSEE在美国和日本设有两个卓越中心，为离子注入和其他半导体应用制造数千种不同的钨、钼、钽、石墨和陶瓷替换零件。PLANSEE严格按照全球所有主要制造商的OEM标准制造产品，主要专注于改进和增强性能系统的设计。以“PLANSEE Advanced Standard”品牌销售，PLANSEE的升级解决方案以其延长使用寿命、简化操作、降低维护支出和降低成本而闻名于整个半导体行业。
PLANSEE的全球销售团队以及由产品工程师和设计师组成的国际团队可进行现场咨询，为您的离子注入需求提供解决方案。了解有关PLANSEE的更多信息并找到您当地的联络代表：www.plansee.com