为全球半导体研究市场提供蚀刻和沉积系统的领先供应商，牛津仪器这家公司刚刚赢得了一份订单等离子体箴100.中国科学院上海技术物理研究所(SITP-CAS)的蚀刻系统。欧洲杯线上买球
这家领先的研究所将使用先进的等离子蚀刻系统进行半导体研究。
SIPT的许鹤良先生评论道:“SIPT安装了PECVD和RIE系统，主要用于非金属薄膜，已应用于光敏器件、钝化和多层金属布局隔离，并取得了良好的效果。我们最近买了等离子体箴100.ICP系统将用于厚介质蚀刻，在这种情况下，CMOS图像传感器器件已经取得了良好的效果。”
徐先生继续说:“我们使用牛津仪器系统已有30多年的历史，我们对其服务支持、对客户需求的迅速反应和广泛的应用能力印象深刻。我们很高兴能与牛津仪器在研发方面合作。”
”等离子体箴100.过程模块基于200mm平台，具有单晶片和多晶片批处理功能。该系统在一系列应用中提供出色的均匀性和高吞吐量流程。“牛津工具亚洲商业经理Jeffery Seah表示。“我们很高兴从这种突出和创新的研究中心赢得了锡斯普，在迅速增长的中国市场中赢得了这项突出创新的研究中心。这款多功能蚀刻系统由我们的独家图书馆支持超过6,000多个流程配方，以及全球客户支持网络，使其成为该研究环境的选择系统。“