这隐藏处引入了Quadrupole质谱仪探针的EQS系列，用于测量真空环境中的外部离子，专门用于应用于SIMS表面分析技术。
现在，该系统甚至通过添加安装在立即进入区域的新的高效电子轰击离子源进一步增强，以直接测量二次中性（SNM），从痕量的完全丰富范围内能够定量浓度的量化等级到100％。
双重技术对各种表面分析有益，包括光学和冶金涂层，合金，腐蚀层，建筑涂料的测量。SIMS和SNM可以在整个连续测量序列中使用，以通过最宽的浓度范围提供量化的深度分析数据。
探头将质量和能量滤波器组合在一起，以及精制质量分辨率和丰度灵敏度的最佳光束传输效率，可选择高达2500米的质量范围选项。它们可提供气体和金属源离子枪，以使现有的表面分析设施的SIMS / SNM升级，并且作为完整的独立SIMS / SNMS工作站。
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