继续举办内容丰富、具有教育性的全球等离子体研讨会和讲习班,牛津仪器等离子体技术美国加州大学圣塔芭芭拉分校将于2013年11月12日与加州大学圣塔芭芭拉分校共同举办一场技术研讨会,讨论ALD和离子束腐蚀和沉积的最新发展。
由UCSB主办的为期1天的活动将包括用户和牛津仪器专家的演讲、讨论、聚焦最新技术创新的海报会议和网络午餐。来自牛津仪器和UCSB的专家将介绍最新的工艺和应用发展,并将有充足的时间进行讨论。
演讲主题目前包括:
- 等离子体和热ALD技术介绍
- ALD硬件开发
- 离子束技术简介
- 离子束蚀刻-一个用户的视角
- 离子束开发
- ALD过程(金属和氮化物ALD)
- ALD - 用户的结果
- 询问专家,问答和离子梁和ALD流程海报
来自UCSB的Bill Mitchell说:“我们期待着与牛津工具的最新讲习班,这是从这里的最后一个人出席了很多,对来自UC Santa Barbara外部的用户和访客提供了大量有用的信息和建议。该计划中具有更高级流程信息的基本面的混合将利息我们社区的广泛横断面。“
“这位研讨会是各种科学家在研究和制造业的广泛的机会,以发现ALD和离子流程,技术和应用的实践方面,直接从业界30多年超过30年的领先制造商”,评论Michelle Bourke,牛津乐器等离子技术的商业集团总监“代表们欣赏这些活动的非正式研讨会氛围,鼓励代表通过公开讨论和分享他们的问题和经验。”
关于牛津仪器PLC
牛津仪器设计,用品和支持高科技工具和系统,重点是研究和工业应用。它提供了推进基本物理研究及其转移到商业纳米技术应用中所需的解决方案。创新一直是牛津工具增长和成功超过50年的推动力,其战略是通过以及时和以客户为中心的方式将其推向市场来实现这些思想的成功商业化。
牛津工具从牛津大学纺出来的第一家技术业务现在是全球公司,全球拥有1900多名员工,并列入了伦敦证券交易所(OXIG)的FTSE250指数。其目标是成为研究和工业部门的新一代工具和系统的领先提供商。
这涉及到低温、高磁场和超高真空环境、核磁共振、x射线、电子和光学计量、高级生长、沉积和蚀刻等领域的核心技术的结合。
牛津工具旨在通过科学和技术追求对我们世界的负责任的发展和更深入的了解。欧洲杯线上买球其产品,专业知识和想法解决了能源,环境,安全和健康等全球问题。
关于牛津仪器等离子体技术
牛津仪器等离子体技术为微型和纳米结构的精确,可控和可重复的工程提供灵活,可配置的工具和前沿工艺。我们的系统为纳米尺寸特征,纳米沉积和纳米结构的受控生长提供了用于蚀刻的过程解决方案。
这些解决方案基于等离子体增强沉积和蚀刻、离子束沉积和蚀刻、原子层沉积、深硅刻蚀和物理气相沉积的核心技术。产品范围从用于研发的紧凑型独立系统,通过批处理工具,到用于高通量生产处理的集群盒式到盒式平台。