EV组（EVG）是MEMS，纳米技术和半导体市场的晶圆粘合和光刻设备的领先供应商，今天宣布新加坡 - 麻省理工学院为研究技术（智能）联盟2020欧洲杯下注官网订购了EVG®850LT全自动生产粘合系统，设计用于绝缘体（SOI）和使用低温等离子体激活处理的直接晶片键合。
聪明的是由马萨诸塞州理工学院（麻省理工学院）建立的领先研究中心，该中心与新加坡国家研究基金会合作，将利用EVG850LT系统来支持其先进的基材开发工作。
EVG（R）850LT全自动生产粘合系统结合了一个平台中的晶片键合的所有基本步骤，以确保在整个阶段进行超清洁生产过程，从而实现高产，无空隙晶片。它支持各种先进的基材，包括绝缘体上的硅 - 镶嵌物（SOI）和晶格工程化衬底（鞋底）技术，直径高达300mm。（prnewsfoto / ev组）
麻省理工学院研究中心位于新加坡的美国以外，拥有五个不同的研究小组，包括低能量电子系统（LEES）研究组，专注于整合硅CMOS和化合物半导体材料，以实现新的集成电路（IC）欧洲杯足球竞彩无线设备，电源电子设备，LED，显示屏和其他应用。LEES研究组具有最先进的制造设施，其中EVG850LT已经安装并正在使用中。
据尤金·菲茨嘉拉德教授从麻省理工学院的材料科学和工程系，智能选择了EVG850LT为中心的先进研发努力，由于该系统的高流程灵活性和性欧洲杯足球竞彩能，E欧洲杯线上买球VG在低温粘合方面的经验，以及过程开发中的专业知识和支持。“我们的LEES研究组的章程是识别新的IC技术，使得能够降低功耗的设备，使能更高的性能并开辟信息系统的新应用。EV集团的技术和专业知识将在支持这项工作方面发挥重要作用，”泰茨杰拉德教授陈述。
EVG850LT系统的构建，eVG850平台是唯一唯一设计用于在高吞吐量，高产环境中运行的SOI和直接晶圆粘接平台 - 将其作为SOI晶圆焊接市场中的行业标准建立。EVG850LT平台将晶片键合的所有基本步骤结合在一起，从清洁和对准到预粘接和IR检查 - 在一个平台中。这确保了整个阶段的超清洁生产过程，以实现高收益，无空隙晶片，而不是独立的处理单元，该单元需要在常规洁净室环境中手动运输晶片。EVG850支持各种先进的基材，包括晶格和晶格工程化基板（鞋底）技术的SOI和硅，直径高达300mm。
“EVG一直处于SOI技术开发的最前沿20多年来，并在工程基材键合中建立了强大的专业知识和领导力。我们与SOI技术的领先研究机构和发明人密切合作，我们非常自豪SMART选择了我们的高产量，高收益EVG850系统，为其先进的技术开发努力，“EV集团亚太地区区域销售总监Frank Huysmans表示。“这证明了我们在研发到高批量生产的工程基板上的领导。SOI晶圆生产商和研究人员依靠EVG的设备推进SOI晶片的生产和技术能力。”2020欧洲杯下注官网
关于ev组（evg）
EV组（EVG）是用于制造半导体，微机电系统（MEMS），复合半导体，电力装置和2020欧洲杯下注官网纳米技术装置的设备和工艺解决方案的领先供应商。关键产品包括晶圆键合，薄晶片加工，光刻/纳米压印光刻（NIL）和计量设备，以及光致抗蚀剂涂布器，清洁剂和检测系统。2020欧洲杯下注官网成立于1980年，EV集团服务，并支持全球全球客户和合作伙伴的详细信息。
来源：http://www.evgroup.com.