Bruker发射DEKTAK XTL XTL触控器用于半导体样品最多300mm

布鲁克(纳斯达克:BRKR)今天宣布发布Dektak XTL手写笔伪造者,将其行业领先的手写笔介质能力扩展到200和300毫米半导体Wafer Fabs和下一代触摸面板制造商。

DEKTAK XTL手写笔伪造者

该系统提供了最具成本效益的300毫米晶片溶液,用于表征薄膜台阶高度,抵抗步骤高度,线边缘粗糙度,CMP盘盘和侵蚀以及滚动量(ROA)。Dektak XTL结合了数十年的Stylus Innovation和针对QA/QC环境的新功能,以提高准确性和最小的操作员干预,并在负载和卸载样品之间进行最少的干预。

“ Bruker的Dektak XTL具有12英寸阶段是同类产品中最先进的系统,”中国晶体晶体级别CSP Co.,Ltd。(WLCSP)的集成部项目总监Roger Lee说。“该系统是稳定且可靠的,并且具有许多强大的功能和易用功能。布鲁克(Bruker)的手写笔毕业生始终领导该行业的技术,并且它们始终满足我们在生产中的计量要求。”

“Customers like WLCSP have been asking for a larger scale stylus measurement system to support their latest 300mm wafer factory needs with the accuracy and industry-proven repeatability of our traditional Dektak products,” added Kent Heath, General Manager of Bruker’s Stylus and Optical Metrology business unit. “With the Dektak XTL we have delivered on this need with its 5 nanometer repeatability, and we have built-in a new level of point-and-click automation for maximum productivity that is unrivaled in the industry. Our early access customers have been amazed by how intuitive it is to use for production and development applications.”

关于Dektak XTL

Dektak XTL具有带有气动的被动隔离的小占地面积和一个完全封闭的工作站,并带有宽阔,易于访问的互锁门,使其适合要求生产地板环境。它的双相机体系结构可增强空间意识,并且其高水平的自动化水平可最大程度地提高制造吞吐量。Bruker的独家Vision64®高级生产接口(API)具有模式识别,优化了严格的QA/QC要求的系统,并使数据收集成为直观且可重复的过程,从而最大程度地降低了操作员到操作员的可变性。

关于布鲁克公司(纳斯达克:BRKR)

布鲁克公司是用于分子和材料研究以及工业,诊断和应用分析的高性能科学工具和解决方案的领先提供商。欧洲杯足球竞彩有关Bruker Corporation的更多信息,请访问www.bruker.com。

引用

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  • APA

    布鲁克纳米表面。(2021年3月10日)。Bruker启动DEKTAK XTL XTL触控器,用于半导体样品最多300mm。azom。于2021年7月7日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=39697检索。

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    布鲁克纳米表面。“ Bruker启动Dektak XTL XTL Stylus Profiler,适用于300mm的半导体样品”。azom。2021年7月7日。

  • 芝加哥

    布鲁克纳米表面。“ Bruker启动Dektak XTL XTL Stylus Profiler,适用于300mm的半导体样品”。azom。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=39697。(2021年7月7日访问)。

  • 哈佛大学

    布鲁克纳米表面。2021。Bruker发射DEKTAK XTL XTL触控器用于半导体样品最多300mm。Azom,2021年7月7日,//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=39697。

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