MicroSense, LLC今天宣布在领先的半导体制造商安装全套STT-MRAM磁性测量工具。这些计量系统表征了用于垂直和平面内STT-MRAM (Spin-Transfer-Torque Magneto-resistive Random Access Memory)开发和制造的多层300毫米晶片或贴片的磁性特性。
MicroSense总裁兼首席运营官Tom McNabb说:“虽然我们已经从芯片制造商和研究机构收到了多个针对我们各种MRAM计量系统的单独订单,但我们很高兴一家主要客户订购了我们的全套工具,用于他们的STT-MRAM计划。”该套件包括用于200mm或300mm垂直STT-MRAM晶圆的Polar Kerr系统,以及用于200mm或300mm平面内STT-MRAM晶圆的KerrMapper工具。我们的EZ振动样品磁强计可以测量垂直或平面内STT-MRAM晶片的样品卷。我们相信,STT-MRAM将成为下一代非易失性、可扩展内存的重要工具。”
“我们的磁测量系统提供关键的过程控制信息,以提高多层磁堆栈的成品率,这是STT-MRAM制造的关键组件,”MicroSense磁测量主任Ferenc Vajda博士说。“这些计量系统利用了我们在系统设计、磁场控制和复杂算法方面30年的专有技术,从而获得了世界领先的性能。我们的系统可以测量高达300毫米的晶圆,适用于研发和生产需求。系统有手动加载或全自动配置。”
关于MicroSense,LLC
MicroSense是全球高灵敏度自动磁测量系统的领导者,包括振动样品磁强计,用于关键的计量应用,如硬盘驱动器磁盘和读写头晶片,半导体晶片,和基本磁性材料表征。领先的数据存储和半导体设备制造商,以及世界各地的大学和研究机构已经使用和信赖M2020欧洲杯下注官网icroSense的磁计量系统超过30年。
资料来源:http://www.microsense.net/