新型真空过程气体分析仪

从希登分析2014年1月22日

紧凑希登HPR-30差分泵送质谱仪能够在1mbar到10E-4mbar的压力范围内实时测量和控制真空过程中的气体成分，解决多个过程领域，包括真空涂层、等离子蚀刻、溅射沉积、CVD/MOCVD和RIE。

该系统直接安装到工艺室，紧密耦合的再入样品提取管直接插入到工艺环境中，以最快地响应气体成分的状态变化，集成微分涡轮-分子泵确保质谱仪(MS)在高压环境下持续工作，过程压力高达1mbar。此外，HPR-30可以与远程工艺系统耦合的车安装定性气体分析和泄漏检测。

该系统是全PC控制和可编程的自动操作和数据报告。多个输入通道可以使过程数据，如过程压力、温度、进气/关闭状态等，与获得的质谱完全集成。

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引用

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美国心理学协会
针孔分析。(2017年8月01)。新型真空过程气体分析仪。AZoM。于2021年7月31日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=39791检索。
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针孔分析。新型真空过程气体分析仪。AZoM．2021年7月31日。< //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=39791 >。
芝加哥
针孔分析。新型真空过程气体分析仪。AZoM。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=39791。(2021年7月31日通过)。
哈佛大学
希登分析》2017。新型真空过程气体分析仪．viewed september 21, //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=39791。