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基于Hiden分析的新型离子束铣削过程中间层探测器

从Hiden分析2014年5月14日

离子梁铣削离子蚀刻过程是基于真空的，依赖于精确识别多层薄膜层之间的突破，每层可能只有几埃厚。

Hiden IMP-EPD端点检测系统通常用于监测和控制整个蚀刻过程。该系统直接监测蚀刻过程中产生的表面离子，识别存在的物种，它们的相对丰度，并精确定义层间边界仅为2.5埃。测定了分子量达300amu的物种。

IMP-EPD系统是一种用于研究和生产过程环境的差动泵浦的粗糙化二次离子质谱仪。使用用户可适应性的程序完全自动化，可实现特定用户进程的优化。为研究人员提供完整手动控制的操作，并提供服务/维护功能。

另外，终点分析，系统作为高度敏感的残余气体分析仪，用于测量系统背景气体，以及使用用户选择搜索气体的泄漏检测。

有关系统的完整详细信息，以及其他隐藏表面分析工具，请联系Hiden分析(电子邮件保护)或访问主要网站www.hidenanalytical.com.。

引用

请使用以下格式之一在您的论文，纸张或报告中引用本文：

美国心理学协会
Hiden分析。（2019年2月08日）。HIDEN分析释放的离子梁铣削过程的新型层间检测器。Azom。7月31日，2021年7月31日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=41178中检索。
MLA.
Hiden分析。“Hiden分析释放的离子束铣削过程的新中间层检测器”。氮杂。2021年7月31日。。
芝加哥
Hiden分析。“Hiden分析释放的离子束铣削过程的新中间层检测器”。Azom。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=41178。（访问于2021年7月31日）。
哈佛
Hiden分析。2019年。基于Hiden分析的新型离子束铣削过程中间层探测器。Azom，于2021年7月31日浏览，//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=41178。