和热磁公司，材料，部件和精密的系统解决方案和电子束蒸发的领先制造商涂层系统的全球供应商欧洲杯足球竞彩，今天宣布推出TEMESCAL UEFC-4900，用于剥离中型超高效的电子束金属化系统化合物半导体应用。
UEFC-4900是一个更小的系统，优化了100和150mm生产晶圆工艺，提供了Auratus™沉积工艺增强方法的所有好处，产生了近乎完美的均匀性，同时降低了高达40%的材料消耗，与传统的包衣机相比，在加工材料如金和铂上节省了大量成本。欧洲杯足球竞彩
Temescal UEFC-4900是为使用电子束蒸发和提升涂层工艺的活性化合物半导体生产环境设计的。UEFC-4900采用锥形真空室，与Temescal FC-2800相比，系统的晶片容量增加了一倍。该系统还具有正在申请专利的高均匀性起飞组件(HULA)设计，该设计使用双轴运动来优化收集效率。
“通过UEFC-4900，我们为您的FC-2800系统提供的100和150毫米生产线的客户带来了最先进的Auratus流程增强功能。从其独特的腔室设计到Hula for晶圆处理，UEFC-4900进行抽气速度更快，更大衣晶圆，以及每天运行多个批次比同等大小的FC-2800，”格雷格·华莱士，热磁的TEMESCAL部门的董事总经理。“但这种系统的实际力量是其精确度，产生近乎完美的均匀性，同时将过程材料消耗降低至40％。对于IDMS和铸造厂，这相当于更好的质量设备。”
Temescal UEFC-4900具有显着增加的晶圆生产能力。该系统可以在批量中加工多达二十五个150毫米晶片，比Temescal FC-2800系统的容量增加了相似的占地面积和功耗。
通过其独特的圆锥形腔室和多个沟槽，UEFC-4900泵浦的速度明显快于传统箱套涂布器。通过39,000 L / SEC泵送容量，系统可以比FC-2800更快地达到5E-07 Torr，减少生产时间损失等待系统进入压力并增加每天可以运行的批次数量。
该系统包含Temescal的Auratus沉积过程增强方法。Auratus是一种专有的优化方法，用于剥离电子束蒸发涂层，该涂层包括待决技术，实现前所未有的均匀性，精度和收集效率。Auratus使Temescal系统的用户能够涂上近乎完美均匀性的晶圆，导致更加一致，更优质的产品和更少的缺陷。Temescal的Auratus方法也有能力增加有效的沉积率，使客户能够提高吞吐量。
有关Ferrotec公司的UEFC-4900、Auratus和其他Temescal系统产品的更多信息，请浏览以下网站www.temescal.net.．
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Ferrotec Corporation (JASDAQ: 6890 (OTC))成立于1980年，是为企业和产品提供材料、组件和精密系统解决方案的全球领导者。欧洲杯足球竞彩
Ferrotec的Temescal Division是基于电子束蒸发涂料系统的领先制造商。有关Ferrotec产品的更多信息，请访问公司的网站www.ferrotec.com．
来源:http://www.ferrotec.com/