日本的Sumitomo Electric Device Innovations,Inc。(Sedi)已订购AIXTRONCRIUS®MOCVD将使用4英寸晶片配置传递的系统,以增强用于RF数据传输应用的碳化硅设备上的氮化碳生产。该购买是在2014年第一季度进行的,用于在第三季度在横滨的Sedi Electron设备部门交付。
SEDI正在准备预计将在2015年开始的需求增加,并选择了Aixtron系统,因为它在4英寸WEFER均匀性和精确过程控制方面的声誉无与伦比,这对于在成本密集型碳化物碳化物碳化物瓦金杯上的设备生产尤其重要。新反应器将配备可选功能,例如动态差距调整,Argus原位温度控制和epicurve TT计量系统。Argus监视设备可实时实时完整的晶圆映射,以最佳控制增长过程。通过允许调整淋浴间和基板之间的过程差距,可以实现扩展的灵活性。
Sumitomo Electric Device Innovations,Inc。在提供一些最佳的RF组件方面享有既定的行业声誉。该公司已经为雷达,手机基站和一般应用提供了一系列GAN HEMT(高电子移动晶体管)设备。这些HEMT设备表现出高功率扩增,最高可达14GHz RF,这是GAN-ON-SIC晶体管提供的。