应用材料公司今天欧洲杯足球竞彩宣布了应用瓦里安VIISta®900 3D系统,业界最先进的中流离子注入工具,用于制造FinFET和sub-2x纳米节点的3D NAND设计。
该系统以精密材料工程的创新为特色,提供了前所未有的控制水平,以提高设备性能、降低可变性并提高欧洲杯足球竞彩日益复杂的高性能、高密度3D设备的产量。
VIISta 900 3D系统提供了增强的光束角度精度、突破性光束形状精度以及卓越的剂量和均匀性控制,使客户能够实现工艺重复性并优化设备性能。该系统独特的热植入技术和三磁铁结构通过最小化缺陷进一步提高了产量。这些综合能力支持制造复杂3D架构所需的精密植入。
应用公司瓦里安半导体设备业务部副总裁兼总经理加里·罗森(Gary Rosen)表示:“消费者对增强移动性的需求给芯片制造商带来了巨大压力,要求他们提供更高性能、更低功耗的设备,这将带来复杂的挑战。”。“VIISta 900 3D离子注入工具专门为3D设计而开发,通过提供最纯净、最精确的植入物以提高设备性能和产量,帮助解决客户最棘手的设备难题。”2020欧洲杯下注官网
VIISta 900 3D系统的一个关键创新是其SuperScan 3技术,该技术利用工具独特的光束形状控制,通过为几乎任何所需的图形提供准确、精确的剂量,来支持定制的晶圆剂量图案。SuperScan 3纠正了非植入过程的变化,以提高3D设备的性能和产量。这些功能以及生产率的提高和系统的高吞吐量为客户提供了显著的拥有成本效益。
VIISta 900 3D工具的精度和低污染性能补充了其在FinFET和3D NAND器件制造方面的领先能力,也使其成为掺杂CMOS图像传感器的光电二极管和逻辑层的最佳解决方案。
应用材料公司(N欧洲杯足球竞彩asdaq:AMAT)是半导体、平板显示和太阳能光伏行业精密材料工程解决方案的全球领导者。我们的技术有助于让智能手机、平板电视和太阳能电池板等创新产品对世界各地的消费者和企业来说更实惠、更容易获得。学习更多在www.applied欧洲杯足球竞彩materials.com.
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