2014年7月3日
位于硅谷的光刻胶旋涂机和显影系统制造商Spintrac Systems，Inc.今天宣布发布其Tractrix-450涂层烘焙系统。该系统旨在支持日益增长的450毫米半导体晶圆加工研发市场。
Spintrac Systems（左）的行业老手Alan Kukas和Noel Technologies的Leon Pearce在Spintrac 450毫米涂层/烘焙系统交付时聚集在一起。
根据Spintrac系统公司总裁Alan Kukas的说法，第一个系统已经在加利福尼亚州坎贝尔市的Noel Technologies公司装运和安装。由于Noel不断扩大的客户需求，交付给Noel的系统还可以通过一个专有的索引器（可容纳300毫米FOUP盒式磁带）对300毫米晶片进行涂层、烘焙和冷却。
Tractrix-450工具配备有：
- 用于单晶圆加工的定制450mm加载平台
- 通过预先设定的工艺流程自动转移晶圆
- 用于登录和创建进程程序的Windows操作系统用户界面。
大部分技术都是从十多年前发布的经过生产验证的Tractrix系统中改进而来的。
Noel Technologies总裁Leon Pearce表示，他们现在可以在提供的工艺服务中添加450毫米镀膜硅片。专业铸造厂从2013年开始首次提供450毫米晶圆湿法、蚀刻和晶圆清洗的工艺开发。
关于Spintrac系统
Spintrac Systems Inc.生产用于研发实验室和生产工厂的涂层、烘焙和开发跟踪系统。该公司的处理系统最初是针对硅晶片，但现在扩展到许多专用基板，包括化合物半导体（InP、GaAs）、蓝宝石、玻璃和陶瓷，尺寸从2到10不等“至320mm x 380mm板材至450mm。公司所有产品的设计重点在于提供精确、可重复的过程结果，同时保持高水平的可靠性和可维护性。
来源:http://www.spintrac.com/