Jordan Valley Semiconductors Ltd.是针对高级半导体制造线的X射线计量工具的领先供应商,今天宣布,它最近已在多个客户提供并成功地委托其JVX7300L内线X射线计量工具。该系统已被购买用于对SI晶片的GAN的投资过程开发和自动生产监测。
乔丹谷(Jordan Valley)的首席执行官Isaac Mazor表示:“我们很高兴被主要客户选中,以为他们在SI Manufacturing的GAN提供在线计量学。我们相信Jordan Valley在支持这一和其他新兴申请方面非常适合我们基于X射线的技术和工具的全面投资组合。这些选择代表了客户对乔丹谷为其苛刻的流程开发和控制需求提供创新和强大解决方案的能力的信心。”
公司副总裁和JV-UK经理保罗·瑞安(Paul Ryan)博士指出:“ SI技术的GAN提出了新的计量挑战和要求,只有高分辨率X射线衍射(HRXRD)才能充分解决。我们一直在支持两者的制造需求。多年来的化合物和硅半导体行业。将这些技术汇集在一起,Jordan Valley可以为这些高级材料系统的表征提供解决方案,同时满足客户在短时间内的严格过程和自动化要求。对此类新兴应用程序的最高自动化,灵活性和鲁棒性。在选择JVX7300L平台时,客户承认产品在缩短其流程开发周期的重要贡献,以及使用相同的生产监控工具的能力帮助提高产量增强。”
JVX7300L是一个值得在SI和其他MOORE应用程序上的GAN的值得X射线计量系统的生产,可用于投资过程开发和生产监测。该工具支持各种X射线计量模式,扫描HRXRD,XRR和(GI)XRD,以提供各种材料和结构的解决方案。欧洲杯足球竞彩HRXRD能够测量单层和多个表层堆栈的组成,厚度应变/松弛。此外,使用XRR和(GI)XRD通道,该工具还可以提供有关广泛薄膜的厚度和密度的信息,并提供唯一的微观结构信息(结晶度,晶粒和相位)。电影。与光学或光谱工具不同,HRXRD和XRR是第一个原理技术,可在没有校准的情况下提供准确而精确的结果。
乔丹谷的管理层将于2014年7月7日至10日在旧金山参加Semicon West 2014。
资源:http://www.jordanvalley.com/