2014年7月11日
Entegris公司,作为全球领先的高成品率材料和高端制造环境解决方案供应商，欧洲杯足球竞彩今天宣布了其VaporSorb系列空气分子污染(AMC)过滤器的产品扩展。
VaporSorb是用于洁净室环境和半导体制造关键步骤过程工具的过滤器的领先品牌。VaporSorb过滤器已被设计用于捕获空气中的有机物、碱和强酸。新型的VaporSorb TRK添加了独特的材料，使其成为第一个单一过滤器，不仅捕捉前三核心污染物类，而且第四，一组定义为弱酸。
专为光刻涂布机/显影机轨道设计的新过滤器是作为“四合一”过滤器解决方案创建的，以避免多过滤器处理的复杂性，并建立在以前的“三合一”技术的基础上。此外，该过滤器保持了行业领先的使用寿命，以减少工具停机时间和拥有成本。
Entegris AMC过滤服务的高级产品营销经理Joe Wildgoose表示:“通过解决一个必须解决的潜在污染物类别，即弱酸，可以开始缓解目前对光刻成品率的担忧。“有了VaporSorb TRK，我们不仅有了一个单一的解决方案，解决了三个常见的主要问题，而且还解决了关于弱酸性气体污染物的最新问题。”
弱酸的例子包括乙酸和甲酸(醋酸;CH3COO -甲酸;HCOO-)和亚硝酸(亚硝酸盐;NO2 -)。这些污染物引起了人们对光刻工艺缺陷和成品率的担忧，因为传统AMC滤镜无法去除这些污染物，而且在使用传统滤镜设计时可能由有机污染形成。
蒸发吸附过滤器使用一种独特的混合材料来捕获空气中的分子污染物。欧洲杯足球竞彩通过添加一种新的吸附剂来创造新的四合一过滤器，这种混合物得到了改善。在现场，终端用户测试证实，该过滤器能够捕获所有导致晶圆或设备缺陷的有机物、碱、强酸和弱酸。2020欧洲杯下注官网
有关VaporSorb TRK的更多信息，请访问www.entegris.com或联系您所在地区的客户服务代表。