这个隐藏EQP等离子体诊断系统是专门为等离子体研究人员开发和增强的纯研究工具，提供正负过程离子的质量和能量分析以及中性物种的测量。
MASsoft操作程序现在具有新的积分和创新6000箱多通道标量功能，时间分辨率仅为50纳秒，适用于各种脉冲等离子体研究，与MASsoft集成板载计时器配合使用，具有“闸门打开/关闭”和“闸门增量”周期的实时闸门控制。
差分泵系统是围绕Hiden高性能三滤光片四极质谱仪开发的，包括45度扇形能量分析仪、电子轰击电离器和脉冲离子计数检测器。系统多重扫描概念允许扫描所有单独的控制参数，以确定离子质量、离子能量和时间的关系，使自动调谐设置功能能够自动优化控制参数，以匹配特定的操作环境。
系统可选择单级、双级或三级差分泵送，以处理毫巴至5巴的等离子体工艺压力环境。
有关此产品或任何其他Hiden分析产品的更多信息，请联系Hiden Analytical，网址为[受电子邮件保护]或浏览www.hidenanalytic.com.