额外的牛津仪器Plasmapro 100等离子蚀刻系统最近已由中国科学技术大学的微观和纳米级研究与制造中心（USTC）Hefei City，Anhui Province订购欧洲杯线上买球沉积系统。
该系统安装在USTC新开放的洁净室中，并将用于量子信息处理越来越重要的领域的基础研究。
在过去的一年中，已经在USTC的新设施中安装了多个牛津仪器等等离子系统，包括plasmapro 100 icp380和plasmapro ngp 80 Rie和Plasmapro 100 PECVD沉积工具。
“我们最新的牛津仪器等离子蚀刻系统将增强量子信息处理中的尖端研究能力，目前正在我们的新设施中进行。”USTC的朱教授说：“我们选择了牛津仪器系统，因为我们发现它们具有广泛的过程能力和出色的灵活性，并以出色的支持和服务包为支持。这些工具将使我们的研究人员能够在微观和纳米级的基础研究中推动限制。”
朱教授继续说：“ USTC在纳米级科学和工程学中具有非常强大的背景，而这种新的最先进的纳米制造设施旨在推动微型和纳米级的合作，跨学科和基础研究。”欧洲杯线上买球
评论牛津仪器等离子技术的销售和市场总监戴维·海恩斯（David Haynes）博士“我们很高兴USTC与我们的公司下达了另一项订单，并增加了我们行业领先的等离子蚀刻和沉积系统的套件。除了提供生产系统外，我们的系统还用于基础研究和开发，利用许多新的和先进的技术，并在USTC安装我们的系统来进一步量子计算对我们来说是个好消息。”
量子信息处理将是9月24日至25日在北京的牛津仪器纳米技术工具2天研讨会的主要主题之一，有关更多信息，请参见：http://www.oxford-instruments.com/btnt-beijing