诺信MARCH是诺信(NASDAQ: NDSN)等离子体处理技术的全球领导者,其TRAK™技术产品系列采用FlexTRAK-S™大容量等离子体系统,用于先进的半导体和电子封装。
5.5升等离子室具有大功率射频发生器和更好的真空电导,因此FlexTRAK-S与小型版本具有相同的等离子处理均匀性、效率和短周期时间。在粘接、成型或标记之前使用等离子体可以为这些电子产品生产过程提供更清洁的表面。
FlexTRAK-S是一种高配置、高通量等离子体系统。它的通用架构,即使拉长也保持不变,可容纳两倍多的基材和多种材料处理配置,以支持各种各样的可变尺寸的形状因素,包括船、载体、Jedec/Auer®船、条带和层压板。根据吞吐量和产品形式的要求,该系统可以配置为杂志到杂志的单和多条或引线框架的处理,卷到卷,并作为一个独立的岛屿生产环境。它有一个窄的宽度(382毫米),需要最小的地板空间。框架的设计使所有服务组件都很容易从前面访问。
该系统可配置为应用三种不同的等离子体处理模式:直接、下游和无离子。FlexTRAK-S SMART Tune™管理系统提供闭环等离子体控制,优化射频系统,最大限度地缩短调谐时间。该系统自动循环到等离子就绪状态,补偿真空压力、温度和不同批次尺寸的变化。通过一种专有的算法,在数秒内实现腔室的最大功率,该算法不断测量腔室内的前进和反射功率。
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