德国爱思强公司股价SE(规定:AIX;纳斯达克:AIXG),全球半导体行业沉积设备的领先供应商,今天宣布,日本昭和电工制造商已成功合格公司的最新系统制造碳2020欧洲杯下注官网化硅(SiC)外延晶片。
新的AIX G5 WW(暖墙)系统配置为处理8 x150毫米和12 x100毫米碳化硅基板。目前,它是最大的生产系统上可用的市场,使每个晶片最高吞吐量和最低的运行成本。
昭和电工的碳化硅外延操作展览市场上最大的生产能力。公司开始从4英寸(100毫米)过渡到6英寸(150毫米)在2013年和现在生产扩大150毫米SiC与德国爱思强公司股价设备能力。2020欧洲杯下注官网150毫米SiC技术提供的机会显著降低生产成本。
AIX G5 WW系统是由德国爱思强公司股价合格的日本服务和流程团队会议客户的紧密的时间表:安装后在2014年第一季度,生产设备发布上半年的2014年4月。2020欧洲杯下注官网
碳化硅生长过程要求薄片上的温度高达1600°C。由于行星®设计理念,每个晶片旋转前体水平层流下处理期间,AIX G5 WW提供卓越的一致性。结果,系统提供非常精确的过程控制层的厚度和掺杂剂均匀性与SiC缺陷密度很低,从而满足生产要求高。
碳化硅高功率设备启用节能电力电子系统。从600到3.3 kV (34) SiC晶体管和二极管设备使用电源和直流-直流转换器,设计逆变器的太阳能产业和功率转换器牵引应用。