爱思强的下一代MOCVD工具通过顶级的生产性能,最低的拥有成本和主要的生产力提高。
全球领先的半导体沉积设备供应商爱思强SE在中国SSL国际贸易博览会上展示了其下一代MOCVD系统。2020欧洲杯下注官网
新的AIX R6是为生产基于氮化镓(GaN)的led而设计的,可提供12x6-, 31x4-, 121x2-英寸晶圆配置。配备了大量的技术创新,新工具将显著降低运营成本,同时简化可用性和过程控制。
“我们新的AIX R6解决了LED制造商今天面临的最重要的挑战:竞争激烈的市场,不断降低的设备价格推动了对拥有成本更低的生产设备的需求。2020欧洲杯下注官网AIX R6旨在满足我们的客户对高效生产的需求,使他们能够优化制造成本。”
“我们从三安公司获得的突破性订单证明,在今天正式发布工具之前,我们的新AIX R6已经通过其性能和价值主张说服了一个关键的市场参与者。”
AIX R6基于爱思强(AIXTRON)的近耦合莲蓬头(CCS)概念,这一关键技术已在众多市场获得了高水平的认可。它以其优异的化学效率和本征沉积均匀性而闻名。
与当前的一代系统相比,AIX R6的拥有成本提高了30%以上,吞吐量增加了120%以上,为LED大规模生产设置了新的标准。
安德里亚斯·托恩尼斯,首席技术官德国爱思强公司股价他强调了新的MOCVD设备的优点:“AIX R6的开发高度关注客户的生产需求。2020欧洲杯下注官网我们非常重视通过更大的容量、更自动化、更高的可靠性和更长的正常运行时间来最大化吞吐量。通过增强的温度监视和控制系统改进过程控制是AIX R6的另一个关键特性。一个新的过程控制系统消除了温度变化,提高了再现性和收率,也使更短的周期时间和快速校准。”