XEI Scientific Inc.在马里兰州巴尔的摩的美国真空学会年度会议上宣布发行EVACTRON®EP。这为针对物理和材料科学社区建设并使用定制设计的真空系统设计的血浆清洁提供了一种新方法。欧洲杯足球竞彩欧洲杯线上买球
XEI Scientific的evactron EP远程等离子体源用空气流动清洁余辉清洁，以清洁带有涡轮分子泵的真空室的碳化合物。独特的新系统从任何真空级别都具有即时点火。它使用低功率空心阴极电极来产生等离子体。它是紧凑且负担得起的。大多数市售的远程等离子体源都是为半导体设备设计的，因此通常用于其他真空系统的血浆清洁。2020欧洲杯下注官网
evactron系统是专门设计用于安全清洁电子显微镜的。这种高率的过程在几分钟内清理清理，以去除在暴露于环境空气，系统组件，真空练习等期间获得的碳。碳速度的去除时间降低了时间，以改善仪器的性能，并在Optics和其他其他方面停止用激光器和带电的粒子梁的碳沉积敏感的表面。它可以防止交叉污染。
XEI的等离子体研发团队设计了EP系统的负担得起，可提供快速，可靠的高性能清洁。关键的RF发生器和阻抗匹配与XEI完全特色的evactron De-Contaminator中使用的单元相同。流动的余气给出了高氧自由基的浓度，以便在2-20毫米区域中较长的平均自由路径，以便快速清洁。固定的输入气流消除了压力表和可变气体流量和控制的需求。
即使腔室在一开始就处于非常高的真空度时，该专利已应用于独特可靠的等离子体点火系统。为了安全起见，真空互锁只有在将设备插入真空时才能将RF电源转动。该单元为CE，NRTL，Semi-S2和ROHS符合条件。EP系统的设计考虑了购买价格。通过删除高成本组件并设计该设备以易于组装，现在的价格不到全功能等离子体清洁系统的一半。
前面板只有一个控件：一个开/关开关，该开关打开了室内的RF电源和气流以启动清洁等离子体。如果需要，可以使用计算机接口连接来设置清洁时间，循环清洁和电源水平。要使用，需要将单元安装在真空室（NW40或CF 2.75法兰），真空和功率上，并且血浆打开。
xei现在，使用高真空吸尘器（包括电子显微镜，fibs和其他真空样品室）在许多不同的环境中销售了全球范围内解决2000多个evactron系统。每个系统都有5年有限保修。XEI的最新创新EP将于2014年11月9日至14日在马里兰州巴尔的摩举行的第61届年度美国真空学会会议上启动。
请访问XEI网站以获取最新详细信息：www.evactron.com。