二次离子质谱（SIMS）是一种多用途、高灵敏度的技术，用于从原子水平到100纳米深度的表面成分分析。
气体分析系统扩展其最新系列的SIMS系统，以提供设备规格级别的选择，以适应广泛的预算能力，同时保持随后扩展到顶级规格的潜力。2020欧洲杯下注官网
所有系统都是完全特高压兼容的，并具有隐藏双模MAXIM质谱仪，可在二次离子模式和二次中性(SNMS)模式下工作，用于数据量化。
入门级基础系统配备有IG-20精细聚焦(50微米)氧/氩离子枪、多个样品架和主离子束监视器。
升级版——SIMS工作站——通过添加样品加载锁和样品操纵器，以及电荷中和电子泛洪枪和系统烘焙设施，配置为更高的吞吐量。
SIMS Workstation Plus具有最全面的规格，添加了用于电负性物种的IG-5C铯离子枪，其光斑尺寸仅为20微米。
MASsoft Professional SIMS PC数据系统提供正负离子和中性物种的自动测量。它能够完全控制质谱仪、离子枪操作参数、离子束光栅面积和扫描速率，并实时显示采集的数据。ESM LabVIEW SIMS成像程序获取、存储和显示数据，以元素表面地图的形式呈现，具有2D和3D视图功能。
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