加拿大领先的开放获取制造和表征机构阿尔伯塔大学nanoFAB最近购买了三个牛津仪器等离子蚀刻系统. 这些系统为当前的安装基础提供了升级的功能，并确保nanoFAB拥有最先进的系统，促进了对其顶级专门建造的洁净室设施日益增长的需求。
PlasmaPro 100 Estrelas、PlasmaPro 100 Cobra和PlasmaPro 80 PE/RIE双模式系统将很快安装在nanoFAB中，为用户提供广泛的工艺选择。
作为PlasmaPro工具家族的最新成员，PlasmaPro Estrelas100深硅蚀刻技术具有行业领先的工艺性能，并考虑到研发市场的发展，该系统提供了最终的工艺灵活性。纳米和微观结构可以实现，因为硬件已经被设计成能够在同一个腔室中运行Bosch™和低温蚀刻技术。PlasmaPro 100 Cobra和PlasmaPro 80 PE/RIE系统具有同样高的规格，是通用的，非常适合研发和生产需求。
超过15年的运营，nanoFAB已被证明是一个很棒的学习、研发和小批量生产环境。我们努力为我们的研究和工业用户提供尽可能高的结果。我们决定购买Oxford Instruments的等离子系统是基于其灵活性、质量和易用性，以及其广泛的工艺提供和从研究到生产的规模化能力。
Eric Flaim博士，纳米fab主任
此外，nanoFAB运营经理基思·富兰克林（Keith Franklin）表示：“我们得到的客户支持非常出色；从维护到用户培训，Oxford Instruments通过其全球支持网络提供了卓越可靠的服务。作为一个开放访问设施，我们的目标是为用户提供尽可能广泛的加工机会，这些牛津仪器系统将是一项巨大的资产。”