2015年3月4日
Aixtron se,全球领先的沉积设备供给半导体行业提供商,今天宣布了台湾集团截二导体半导体晶圆,Inc。2020欧洲杯下注官网成功投入了用于碳化硅(SIC)外延的AIX G5 WW(暖墙)反应器。
Episil总裁Ian Chan博士评论道:“我们选择了爱思强行星反应堆系统,因为我们对爱思强SiC系统所生产的优秀材料质量印象深刻。Episil已经是电源管理设备和电源管理集成电路的硅基外延的领先生产商。我们还在爱思强的MOCVD技术中积累了生产硅基氮化镓组件(GaN-on-Si)的经验,现在计划将我们的产品组合扩展到基于sic的设备。”
SIC和GaN都是为电力应用开发的。虽然SIC器件已经在开关模式电源中使用,但是SIC半导体材料需要非常高的增长温度,需要对外延加工设备的特定解决方案。2020欧洲杯下注官网这是AIX G5WW发挥的地方,完全符合下一代SIC电源电子的要求。G5WW系统可以处理高达8x150毫米的SIC晶片,并具有最高的晶片吞吐量,以及快速循环时间和低的所有权成本低。Aixtron的工程师通过改善了150 mm SiC的均匀性,并通过开发强大的过程,通过改善均匀性并通过开发强大的工艺来实现最大化的产量。
Epision是台湾的第一个在1985年创立的延伸加工厂。今天,该公司雇用了1,400多名员工,总资本化约为1亿美元。该公司还通过双极,CMOS,DMOS和BCD流程生产晶圆的设备铸造。