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Hiden宣布新的气体分析仪安装塔

从希登分析2015年4月21日

一个全新的垂直和移动安装塔给希登HPR-30低压工艺气体分析仪稳定的支持，可直接安装到1.8米(6英尺)高的小型和轻型工艺室端口。

HPR-30可在1mbar至超高真空的压力范围内工作，可实时测量多个低压过程中的气体成分，包括真空镀膜、等离子蚀刻和沉积、ALD和CVD等。

基于四极杆质谱仪的系统是完整的微分涡轮-分子泵，机载真空计选择阀之间的自动切换系统基础和过程压力，PC接口和Hiden MASsoft控制程序。

该系统完全可编程用于自动操作和数据报告。多种I / O通道使双向通信能够与过程控制系统进行双向通信，以维持工艺完整性，提供工艺气体状态，气体控制阀功能和关闭效率，污染水平和空气泄漏进入的确认，以及外部的HPR-30用作非常高的灵敏度泄漏检测器，可选择用于氦气或任何替代搜索气体的优化操作。

有关此或任何其他Hiden分析产品的更多信息，请联系Hiden分析[电子邮件受保护]或访问主要网站www.HidenAnalytical.com．

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针孔分析。(2019年,08年2月)。Hiden宣布新的气体分析仪安装塔。AZoM。于2021年9月13日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=43667检索。
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针孔分析。Hiden宣布新的工艺气体分析仪安装塔。AZoM．2021年9月13日。< //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=43667 >。
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针孔分析。Hiden宣布新的工艺气体分析仪安装塔。AZoM。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=43667。(2021年9月13日生效)。
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希登分析》2019。Hiden宣布新的气体分析仪安装塔．viewed September 21, //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=43667。