积极推动改善LED行业内拥有成本驱动的创新牛津仪器等离子技术。
优化等离子体处理设备提供了许多方法来提高产量和降低制造成本,这意味着双重暴利为制造商。领导制造需要临界等离子体蚀刻步骤(有图案的蓝宝石基板(PSS)和氮化镓腐蚀)和沉积钝化步骤,当前阻塞和面具的创造。
这些都是由越来越多样化的技术例如等离子增强化学淀积(PECVD) "。这次研讨会的描述方法PSS腐蚀过程中提高工作效率。
马克Dineen博士,牛津仪器光电产品经理说:
”这个网络研讨会报告描述的方法在这些流程提高工作效率,增加利率过程和使用技术来提高收益率每个晶片。
!它应该感兴趣的行业专业人士希望了解更多关于图案的蓝宝石衬底的好处(PSS)蚀刻使用创新的等离子体处理技术。我们期待着回答他们的问题。”
博士演讲将在英语(Mark Dineen光电产品经理,牛津仪器)、普通话(Young博士黄、现场和实验室应用经理,牛津仪器),将会有充足的机会问问题在英文和中文。
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关于牛津仪器等离子体技术
牛津仪器等离子技术提供灵活的、可配置的精确过程工具和领先的过程,工程微观和纳米结构的可控和可重复的。我们的系统提供过程解决方案的腐蚀纳米大小的特性,nanolayer沉积和纳米结构的控制增长。
这些解决方案是基于核心技术在plasma-enhanced沉积和蚀刻,离子束沉积和蚀刻,原子层沉积、深硅蚀刻和物理汽相沉积。产品范围从小型独立的系统研发,通过批处理工具和大规模生产加工集群盒对盒平台。