EVT为半导体行业发布晶圆粒子检测软件

半导体行业的晶圆生产是一项严肃的事业。所以evt.现在有了Eyevision软件,开发了一个用于粒子检查的程序。

晶圆上的粒子检查

粒欧洲杯猜球平台子可能是透明晶圆生产时的最佳缺陷。在运输期间,在处理期间或甚至在植物本身期间,颗粒如例如。欧洲杯猜球平台灰尘或材料磨损,可以在晶片上沉降。这可以发展成为一个不受欢迎的覆盖物。

因此,该区域的处理受到影响。颗粒可以防欧洲杯猜球平台止蚀刻或层的沉淀。这可能导致故障,例如例如。导体之间的短路或缺失电接头。

EVT的颗粒检查器分析了晶片的表面有关灰尘和其他颗粒的表面。欧洲杯猜球平台测量原理基于激光线。

激光线扫描晶片。晶片反射散射光。并且这种散射光可以在光电二极管的帮助下改变为电信号。然后将该信号与先前保存的参考值进行比较。

EyeVision软件甚至识别出丝毫的差异,因此可以发送晶片的评估,如好坏。

Eyevision软件也非常易于处理,可以在图形用户界面中轻松调整粒子检查。

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