真空加工是不同化学，冶金和电子相关手术的必要因素，包括真空栅，化学气相沉积，表面蚀刻和蒸发涂层，通过各种压力阶段进行操作要求。
这Hiden HMT四极杆质谱仪是一个独特的双模残留气体分析仪（RGA），其设想，通过从超高真空（UHV）的全部真空谱通过从超高真空（UHV）的单个压力表进行操作，以便在MillitorR制度中的过程压力提供过程气体监测，真空背景诊断和泄漏检测。
整体双探测器可以通过法拉第检测器在高压下测量，并且通过电子乘法器检测器对UHV的压力降低，使得具有部分压力检测的完整传统RGA规范，将部分压力检测到2×10E-13 Torr，总动态范围超出十分十年。
选择过程模式立即设定用于高压操作的分析仪参数，通过针对特定工艺压力进行优化的系统灵敏度。选择RGA模式自动重置系统以获得最佳的UHV灵敏度，激活系统乘法器操作，并启用过压保护功能。
该系统具有模板驱动的快速启动操作，具有多种扫描模式选项，在所选群众和时光的部分压力方面呈现数据。与过程控制系统的集成使远程扫描控制和导入外部参数，如温度和过程事件阶段。以太网通信链路可控制多个RGA。
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