Picosun Oy加拿大卡尔顿大学(Carleton University)的报告显示，在完整的硅片上，ALD金沉积是均匀的。
使用PICOSUN™等离子体ALD工具和Seán Barry教授开发的新型金前驱体制备了金薄膜。在美国波特兰举行的AVS第15届ALD会议上，对这种新工艺进行了描述。
图片来源:卡尔顿大学的巴里实验室
在今天的微电子、光电子和微系统制造中，黄金是一种非常受欢迎的材料。
由于其优异的化学惰性和高热导率和电导率，它在3D封装(通过互连)、晶圆金属化和IC组件的散热，以及MEMS器件电连接、结构层和电极的制备等方面有大量的应用。
“我们研究金金属沉积化学已经有几年了，这个过程是一个突破。我们的PICOSUN ALD系统处理各种各样的前体，它的易用性使具有挑战性的材料的工艺开发更加容易。欧洲杯足球竞彩我们能够用PICOSUN™等离子体ALD工具实现的均匀性非常令人印象深刻，”Seán Barry说，他是加拿大渥太华卡尔顿大学化学系的副教授。
“我们对ALD在金沉积方面的最新进展感到兴奋。Picosun的等离子ALD技术是金属沉积的最佳选择。Picosun的应用总监李伟民博士总结道:“这在以前也使黄金制造成为可能，但现在公布的、更大规模的结果肯定会引起我们在IC、MEMS和电子行业的大量生产客户的兴趣。”
关于Picosun
Picosun提供最先进的ALD薄膜技术，凭借在该领域40年的持续专业知识，通过新颖、尖端的涂层解决方案，实现工业向未来的飞跃。今天，PICOSUN ALD系统在世界各地许多主要行业的日常生产中使用。Picosun总部位于芬兰，在美国、中国、台湾和新加坡设有分支机构，并在全球拥有销售和支持网络。
对卡尔顿大学
卡尔顿大学位于美国首都，是一所充满活力的研究和教学机构，有着引领变革的传统。它拥有国际认可的教师、工作人员和研究人员，为来自世界上每个省份和100多个国家的27,000多名全日制和非全日制学生提供了学术机会。卡尔顿创造性的、跨学科的和国际的研究方法已经在科学技术、商业、治理、公共政策和艺术领域带来了许多重大发现和创造性作品。欧洲杯线上买球作为一个创新机构，卡尔顿致力于为现实世界的问题开发解决方案。