诺森三月等离子体处理技术的全球领导者，诺信公司(NASDAQ: NDSN)宣布其新的SPHERE™系列等离子体系统，用于晶圆级和3D封装应用。
基于Nordson MARCH的TRAK™ 系列，新系列由滋养层组成™ 平流层™ 等离子体处理系统。该系统执行除垢、灰化（光刻胶/聚合物剥离）、电介质蚀刻、晶圆碰撞、有机污染物去除和晶圆卸压。这两种系统都支持圆形或方形晶圆的自动处理和加工，并且可以根据晶圆厚度处理带或不带载体的薄晶圆。
SPHERE系列模型的区别在于它们的腔室的大小。对流层系统有最小的腔室。
它设计用于半导体晶片和其他尺寸在76毫米（3英寸）到200毫米（8英寸）之间的扁平基板的高通量处理，用于将晶片固定在开放式盒式磁带中。
平流层等离子体系统可处理直径达300毫米(12英寸)的半导体晶圆。这两个系列都采用了专利的等离子室设计，提供了卓越的蚀刻均匀性和工艺重复性。
该控制体系结构能够以极低的开销缩短等离子循环时间，确保吞吐量最大化，拥有成本最小化。
Nordson MARCH营销总监Jonathan Doan说：“Nordson MARCH的SPHERE系列是一种简单的方法，可以消除半导体制造过程中产生的污染物造成的问题。”。“我们的等离子体处理可用于晶圆清洁和各种蚀刻、灰化和除垢步骤，以及去除污染、表面粗糙化、增加润湿性、增强粘结和粘合强度。我邀请SEMICON West与会者在Nordson MARCH展位5743与我们的技术专家会面，讨论如何asma处理可提高其制造工艺和产品的质量和成功率。”
Nordson MARCH的技术专家将于7月14日至16日在加州旧金山Moscone会议中心举行的SEMICON West 2015大会上的5743号展位讨论您的申请。欲了解更多信息或安排预约，请联系Nordson MARCH(电子邮件保护)，致电+1.925.827.1240，或访问我们的网站www.nordsonmarch.com．
关于诺森三月
诺信MARCH是半导体、印刷电路板(PCB)、微电子、医疗和生命科学设备制造行业等离子体处理技术的全球领导者。欧洲杯线上买球诺信MARCH在世界各地设有办事处和应用实验室，包括加州、欧洲、新加坡、中国、日本、韩国和台湾。经过超过25年的不断创新，诺信MARCH设计和制造了一系列屡获殊荣的专利等离子处理系统。由科学家和工程师组成的专家团队可以协助等离子体工艺的发展，以提高产品的可靠性和提高产量。访问NordsonMARCH网站www.nordsonmarch.com, www.facebook.com/NordsonMARCH, www.twitter.com/NordsonMARCH，或谷歌+。
关于诺森公司
诺信公司提供精密技术解决方案，帮助客户在全球取得成功。应用专业知识和直接的全球支持支持粘合剂、涂料、密封剂、生物材料和其他流体的精密分配，塑料挤出和注射成型，电子测试和检欧洲杯足球竞彩查，以及表面制备。诺信服务于非耐用消费品、耐用消费品和高科技市场，专业从事包装、无纺布、电子、医疗、能源、交通、建筑和产品组装。诺信成立于1954年，总部位于美国俄亥俄州韦斯特莱克，在30多个国家设有运营和支持办事处。通过www.nordson.com和社交媒体联系诺信。