SENTECH提供用于薄膜计量的前缘椭偏仪和用于蚀刻和沉积的等离子体设备。2020欧洲杯下注官网
SENresearch系列代表了SENTECH光谱椭偏仪的高端产品，包括FTIR(傅里叶变换红外)光谱和多二极管阵列光谱椭偏仪的独特组合。
SENresearch椭偏仪系列利用了光谱技术和阶跃扫描分析原理进行检测，提供了最宽的光谱范围，最高的分辨率和最佳的信噪比。
多路检测的最大优势是速度，这使得SENresearch椭偏仪成为最快和最灵活的椭偏仪。
为了满足客户的高要求，SENTECH改进了SENresearch FTIR椭偏仪，以更快的速度测量近红外，提供最高的光谱分辨率和最宽的光谱范围，在更短的测量时间内具有优良的信噪比。
SENresearch光谱椭偏仪应用超快FTIR光谱椭偏仪，在不到10秒的时间内测量了超过1000对(Ψ， Δ)介于240-2500 nm之间的(Ψ， Δ)。这意味着与最先进的解决方案相比，测量速度快10倍。
除了提高测量速度外，我们还将光谱范围扩展到2500 nm。氘-卤素光源和MgF2光学系统的下限为190 nm，氘-卤素光源和石英光学系统的下限为240 nm，卤素光源的下限为380 nm。
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