皮科森Oy作为全球工业高质量原子层沉积(ALD)设备和解决方案的领先供应商,其等离子ALD技术不断取得成功。2020欧洲杯下注官网
Picosun的专利皮质瘤™源系统现在在集群集成上可用,
半S2认证PICOSUN™ P系列生产ALD模块。遥控感应式
具有高活性自由基的耦合等离子体扩展了ALD过程的选择
允许对敏感基底(如塑料、聚合物或金属)进行无损伤涂层
箔材。这方面的一个主要例子是第一个低温ALD石墨烯沉积
皮科松™ 等离子ALD工具。
这个皮质瘤™源系统也是理想的导电材料沉积,如欧洲杯足球竞彩
作为纯金属或氮化物,没有短路或颗粒形成的危险。它
优化设计使ALD金属工艺不断取得突破,例如
最近报道了使用Picosun的等离子ALD技术进行全晶圆金沉积。
“等离子体辅助的ALD工艺,例如高质量的贵金属或氮化物层,被广泛应用
成为制造各种微电子元件的关键。
特别是在化合物半导体器件和MEMS制造中,低加工
由血浆醛固酮产生的温度通常是至关重要的。非破坏性的,放射性的
用我们的皮质瘤™系统使未来的技术成为可能
全球半导体工业的节点,“Juhana Kostamo总结道
Picosun的主管。