的需求EVG光刻技术解决方案的持续增长对主流和专业应用程序需要高度可定制的解决方案
EV组(EVG),晶片键合的主要供应商和光刻设备微机电系统,纳米技术和半导体市场,今天宣布,WIKA集团,一个全球领先的压力、温度和液位2020欧洲杯下注官网测量技术,放置一个EVG大力神®光刻追踪系统投入生产制造压力传感器设备。大力神系统已经安装并运行在克林根贝格WIKA制造总部,德国。
EVG大力神系统结合了喷雾外套,发展,晶片'用面具和烘烤/冷却模块对准和曝光工具在一个完全自动化的生产平台。为了满足WIKA独特的high-product-mix制造需求,EVG实现了几个新特性这高度定制的系统。
这些包括全自动口罩的选择、处理和定位功能,它允许用户把系统在连续操作断开衬底不同要求几何面具和载体尺寸为变量客户要求。这种模式还支持通过智能优化调度软件,其中自动管理流程,确保最佳的配方工艺流程由pre-calculating估计流程持续时间和时间之间的转移流程步骤为每个载体衬底或光刻掩模。智能调度软件确保关键流程步骤进行可重复的,固定的时间,可以调整材料或工艺流程的变化。好处包括改善过程控制,优化吞吐量和生产力。
我们的业务包括精益生产各种专用传感器,包括许多不同的材料和设计功能定制的需求。欧洲杯足球竞彩结果,我们需要制造解决方案稳定、灵活,可以很容易地适应不同的生产需求。
EV组一直是我们供应商的选择对于光刻跟踪系统,并增加他们的完全自动化的大力神系统对我们的生产流程允许我们增加产能和产量,以满足日益增长的需求为我们的优质的产品从我们的客户。电动汽车集团的专长提供世界级的MEMS和传感器制造自动化流程解决方案,使他们成为理想的合作伙伴支持我们的优质生产的需要。
洛伦茨a . Kehrer博士——传感器开发、WIKA
电动汽车集团的综合大力神系统是一个关键的组件在我们光刻产品组合不仅nanoimprint光刻技术领域,也为我们的MEMS客户应用光刻过程。赫拉克勒斯利用我们的专业知识在掩模对准,抵制加工、自动化和软件工程为客户提供全面的不会过时的光刻技术跟踪其批量生产需求的解决方案。
采用光刻技术的解决方案,包括大力神,不仅推动了商业应用等先进的包装和MEMS,由高度专业化的应用程序也可定制我们的产品的性质,再加上我们的流程和工程技术允许我们调整我们的解决方案,以满足每个客户的独特需求。
赫尔曼Waltl执行销售和客户支持主管EV组