爱德华兹,世界上最大的综合真空和减排解决方案制造商之一，宣布了Semicon的两个新的真空泵产品系列®中国:iXM系列用于半导体蚀刻和化学气相沉积(CVD)应用，iXL900R用于大型平板显示器(FPD)加载锁室的快速泵降。
iXL900R用于大型平板显示(FPD)负载锁室的快速泵下
“Edwards致力于降低碳排放和能耗。这款新产品系列都有助于我们的客户减少其制造业务的环境影响，同时还帮助他们降低成本，“保罗·罗林斯，副总统营销，半导体和DSL业务，爱德华兹。
新型IXM系列干泵可降低蚀刻和CVD流程的环境影响和客户成本，使它们能够以最低能耗和最低环境噪声水平运行其最新流程。当用于高腐蚀性蚀刻工艺时，泵设计用于提供增加的寿命。与市场上的其他泵相比，它们还提供了显着较低的占地面积。
IXL900R是当前在其类中可用的最快的LoadLock泵，用于FPD LoadLock应用程序。客户可以通过这种新泵显着降低运营成本和安装时间，这尤其适用于用于等离子体气相沉积（PVD）应用的最大载体室。此外，客户还需要每个Locklock室的泵，这减少了安装时间，系统化成本，维护和公用事业消耗。
我们自豪地为我们的客户提供新的解决方案，帮助他们减少能源使用。据估计，在半导体工厂中，多达40%的能量是由真空泵消耗的，因此，即使在这方面稍有降低，也会对总能量消耗产生重大影响。我们最新的真空泵提供了整体能源效率的改善，并从独特的闲置模式节省能源，减少能源使用时，全功率不需要。
目前，中国政府支持的激励措施为制造商提供了一个机会，以最小的投资升级他们的能力，降低能源消耗。一家客户最近根据该计划更换了200台水泵，每天节约能源7000千瓦时。
马震 - 申请经理，爱德华兹
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