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Suss Microtec依靠环保器的环保LED技术依赖于掩模对齐器

从Suss Microtec AG2016年4月26日

Suss Microtec.作为半导体及相关市场的设备和工艺解决方案的领先供2020欧洲杯下注官网应商，今天宣布推出一款新的UV-LED灯箱，用于其首个曝光工具，该产品在市场上处于领先地位超过50年。

SUSS MicroTec努力将可持续性和经济思维与生态方面保持一致。随着Mask Aligner的低环境影响UV-LED灯箱概念的开发和实施，SUSS MicroTec在资源节约和环境保护方面迈出了进一步重要的一步。

新的紫外线LED光源的寿命比传统的汞蒸气灯更长。此外，它不再需要预热和冷却 - LED光源在实际曝光过程中仅接通。这两种因素都有助于低能耗。在健康，安全和环保方面，LED技术提供了显着改善的解决方案。最后，在光刻中使用LED照明提供了过程设计中的最大灵活性。因此，它是SUS掩模对准器MO曝光光学器件的理想选择，可确保最佳曝光结果。

新型LED灯座采用最新的技术，因此满足了对环境可持续性和能源效率不断增长的需求。通过将前沿创新与我们的环境战略相结合，我们不仅为客户创造成本效益，还保护环境。

Per-Ove Hansson博士 - CEO，Suss Microtec

引用

请使用以下格式之一在您的论文，纸张或报告中引用本文：

美国心理学协会
发现MicroTec AG)。(2019年,08年2月)。Suss Microtec的掩膜对准器采用环保led技术。AZoM。于2021年11月1日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=45528检索。
MLA.
发现MicroTec AG)。“Suss Microtec依赖于环保器的环保型LED技术”。Azom.．2011年11月01日。。
芝加哥
发现MicroTec AG)。“Suss Microtec依赖于环保器的环保型LED技术”。AZoM。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=45528。（访问01,2021）。
哈佛大学
发现MicroTec AG)。2019年。Suss Microtec依靠环保器的环保LED技术依赖于掩模对齐器．viewed september 21, //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=45528。