发现MicroTec为半导体行业和相关市场提供设备和工艺解决方案的领2020欧洲杯下注官网先供应商，今天宣布推出MA/BA Gen4系列。新一代SUSS MicroTec的半自动化掩膜和键合对准器通过在对准精度、人体工程学设计和进一步降低拥有成本方面的重大改进，扩展了其功能。
随着第四代的推出，SUSS MicroTec引入了一个新的平台系统。这两种平台类型配置不同，包括用于标准流程的MA/BA Gen4和MA/BA Gen4箴系列适用于高级高端工艺。通过转移到这个新的平台概念，SUSS MicroTec进一步优化了Mask对准器产品组合，以更好地符合客户的要求。
SUSS MicroTec的MA/BA Gen4系列主要应用于学术界、MEMS、3D集成和化合物半导体市场的全领域光刻。它还可以处理键对齐、融合键合和SMILE压印等过程。除了标准晶圆加工外，MA/BA Gen4系列还可可靠地加工精细的基片，如易碎、翘曲或表面不平整的晶圆。
我们的新手动面膜校准系列在成本效率、用户友好性和领先的工艺结果方面树立了一个高基准。有了这个新的平台概念，我们进一步配合不同的客户需求——用于标准光刻工艺的MA/BA Gen4或领先的MA/BA Gen4箴适用于小批量生产和更高要求的解决方案，例如我们的软共形压印光刻(SCIL)解决方案。
Per-Ove Hansson博士，SUSS MicroTec首席执行官
SUSS MicroTec是半导体行业和相关市场的微结构设备和工艺解决方案的领2020欧洲杯下注官网先供应商。SUSS MicroTec与研究机构和行业伙伴密切合作，为下一代技术的进步做出贡献，如3D集成和纳米压印光刻，以及MEMS和LED制造的关键工艺。通过应用程序和服务的全球基础设施，SUSS MicroTec支持全球超过8000个已安装的系统。SUSS MicroTec总部位于德国慕尼黑附近的加兴。欲了解更多信息，请访问www.suss.com