领先的流程解决方案提供广泛应用程序的提供者，牛津仪器很高兴地宣布使用其高性能纳米采册纳米级生长系统开发和推出MOS2生长过程。
单层MOS2是直接带隙半导体，其在诸如LED，光伏，光电探测器和生物传感器的光电子中具有广泛的测距应用，而多层MOS2是间接带隙半导体，其在未来的数字电子设备中示出了承诺。
牛津仪器的科学家们已经进行了广泛的研究和优化这种CVD工艺，在配备有能够提供适用于2D材料生长的广泛液体/固体/金属有机前体的前体递送模块的纳米纸系统上进行了广泛的研究和优化。欧洲杯足球竞彩上的范围的底物，包括蓝宝石提供生长和ALD氧化铝（Al2O3和SiO2），该系统能够在沉积其它2D过渡金属二硫属化物（TMDCs）如WS2，MoSe2等的
这种过程开发及其经过验证的结果非常令人兴奋，因为我们在我们的2D材料加工能力与纳米采集等离子体加工系统进入新阶段。欧洲杯足球竞彩拉曼分析已经证明了一种高质量的单层，具有AFM，显示出合金且均匀的薄膜。我们预计这一发展在2D材料的增长将有助于下一代纳米电子设备。欧洲杯足球竞彩
牛津仪器斯拉姆斯技术的战略营销和商业发展总监Frazer Anderson，战略营销和商业发展总监
有关更多信息，请访问我们的网页：www.oxinst.com/mos2.
牛津仪器等离子体技术为微型和纳米结构的精确，可控和可重复的工程提供灵活，可配置的工具和前沿工艺。我们的系统提供了化合物半导体材料的纳米层外延生长的过程解决方案，纳米尺寸特征的蚀刻和纳米结构的受控生长。
这些解决方案基于等离子体增强型沉积和蚀刻，离子束沉积和蚀刻，原子层沉积和深硅蚀刻的核心技术。产品范围从紧凑的独立系统用于研发，通过批量工具和高通量生产加工的集群盒式磁带平台。