加入我们XEI科学公司。在1108号展位参观带EP等离子去污染器的真空吸尘器Easy Plasma SoftClean (EPSC),这是我们的真空吸尘器等离子去污染器系列的最新型号显微与显微分析2016会议发生在哥伦布会展中心在俄亥俄州哥伦布市在2016年7月28日.
的真空EP等离子体去污器是一个紧凑,高性能,但简单的等离子清洗SEM/FIB室,负载锁,或样品准备室。
真空EP除污器的特点包括:
- 节能空心阴极等离子体
- 供气流量
- 等离子体自由基源设计最大限度地将自由基传递到室中
- POP™等离子体点火工作在所有压力低于100Pa或750 mTorr
- 低压操作@1-3 Pa,自由基寿命长,清洗速度快
- 能在与涡轮分子泵兼容的压力下启动和运行吗
- 固定匹配提供最大的等离子能量传输
XEI的创始人和总裁Ronald Vane将在2016年M&M上展示他的海报“Remote Plasma Cleaning and Radical Recombination Rates”。这张海报,#208,将包括距离和几何形状对自由基重组率和清洗效率的影响的数据。海报展示将在仪器仪表方面的进展在7月27日th在下午三点.
联系Dan Kleinen在展会上安排一个私人预约:(电子邮件保护)