NIL系统将支持激发计划的加强过程开发和演示功能。
ev组（EVG）是MEMS，纳米技术和半导体市场的MEMS，纳米技术和半导体市场的光刻设备的领先供应商，以及CEA技术研究所2020欧洲杯下注官网的LETI今天宣布，Leti订购了来自EV集团的Hercules Nil Track系统。
Hercules Nil System将安装在Grenoble的Leti的洁净室设施中，在那里它将增加参与者在合作EVG-Leti激发计划中可用的过程开发和演示功能。
超过一个工业伙伴关系开发NIL流程解决方案，Inspire计划由Leti和Evg于2015年6月推出，以展示NIL的各种应用领域的所有权效益，如光子，血管，照明，光伏，晶圆级光学和生物技术。
通过激励，Leti和EVG正在支持从可行性 - 学习阶段开发新应用程序，以转向EVG平台上的第一个制造步骤，以及将集成过程解决方案转移到其工业伙伴。
这一努力的结果是大大降低了在制造新产品时采用零排放技术的障碍。
纳米压印光刻作为一种低成本、高分辨率的制版解决方案，在半导体行业以外的新兴和不断增长的应用中显示出了巨大的潜力。Leti和EVG联合推出的INSPIRE项目旨在加速这种有前景的技术在大批量生产中的应用。安装该工具支持我们扩大和加速INSPIRE范围的目标，并展示这种多功能、强大的纳米图形技术的好处。
劳伦特·佩恩，勒蒂的图案设计项目经理
Hercules Nil是一个完全集成的轨道系统，将清洁，抗蚀剂涂层和烘焙预处理步骤结合在一个平台中的EVG专有的Smartnil™大面积NIL工艺。
它可以压印大小从几十纳米到几微米的结构，同时提供无与伦比的吞吐量(200毫米晶圆的40 wph)。该系统建立在一个高度可配置和模块化的平台上，可容纳各种压印材料和结构尺寸，为满足客户的制造需求提供了高度的灵活性。欧洲杯足球竞彩
完全集成的方法也将粒子污染的风险降到最低。
自从Leti和Evg一年前推出它以来，我们对激发计划的成功非常满意。迄今为止，由于两个组织提供的合并专业知识和能力，该计划支持多个客户的NIL解决方案的开发。随着EVG的赫拉克勒斯诺尔轨道系统 - 已经安装在多个大批量生产地点 - 我们预计激发的成功将继续增长。
Markus Wimplinger，企业技术开发和知识产权主任，eV集团
关于Leti(法国）
作为CEA技术研究部的三个先进研究机构之一，乐提作为基础研究和微纳米技术生产之间的桥梁，改善了世界各地的人们的生活。它致力于创造创新，并将其转化为产业。乐帝凭借其2800项专利，与大型工业企业、中小企业和初创企业合作，量身定制先进的解决方案，加强其竞争地位。它已经创办了59家初创公司。其8500平方米的新一代洁净室空间具有200mm和300mm的微纳米晶片加工解决方案，应用范围从空间到智能设备。Leti总部位于法国格勒诺布尔，拥有1900多名员工，并在加州硅谷和东京设有办事处。跟随我们www.leti.fr.和@cea_leti。
关于ev组（evg）
EV集团(EVG)是一家领先的半导体、微电子机械系统(MEMS)、复合半导体、动2020欧洲杯下注官网力器件和纳米器件制造设备和工艺解决方案供应商。主要产品包括晶圆键合、薄片加工、光刻/纳米压印光刻(NIL)和计量设备，以及光刻胶涂布器、清洁剂和检测系统。2020欧洲杯下注官网EV Group成立于1980年，为遍布全球的客户和合作伙伴提供服务和支持。有关EVG的更多信息，请访问www.EVGroup.com．