作为HBLED制造的领先工艺技术设备的关键供应商,2020欧洲杯下注官网牛津仪器一直是HBLED行业的重要组成部分。
现在,该公司的系统被用于促进UV led的引入,被用于水净化系统,为偏远地区带来安全的饮用水。
Oxford Instruments PlasmaPro1000 Stratum PECVD工具用于沉积制造UV led所必需的高质量电介质。薄膜质量,批量大小和吞吐量使它成为促进这一最新技术的理想工具。
该系统是生产UV led的理想选择,因为它们可以生产更厚的钝化层,UV led需要在高功率下可靠运行,同时保持薄膜质量和低成本拥有。
通过腔室设计,最多可批量生产14 × 4“晶圆片,确保每批晶圆片都能实现相同数量的高规格薄膜沉积。
先进的工具技术确保了腔室的等离子体快速清洁,通过光学发射光谱(OES)自动控制,并实现最大产量和正常运行时间。
与传统的UV光源相比,UV led有几个优势。它们在低直流功率下运行,这意味着它们可以由太阳能提供动力。再加上它们比传统水源更轻、更坚固,这使得它们非常适合在偏远、远离电网的地区使用,这些地区的清洁水供应有限或根本不存在。UV LED还可调至最佳波长以去除细菌,这使得它们在净化水方面比传统光源更有效。最后,UV LED不含汞,汞是传统UV灯的重要组成部分。因此,在比较UV LED灯和传统UV灯时,通过意外污染和回收的需要,大大降低了环境影响风险。
Mark Dineen博士,牛津仪器等离子体技术光电产品经理
牛津仪器等离子技术继续提供创新的高技术等离子处理解决方案,推动今天的进步,保护明天的环境。