智能TMS通过减少真空/减少管道冷凝，帮助半导体、平板显示器和太阳能制造商提高工艺性能和安全性。
爱德华兹作为全球最大的集成真空和减阻解决方案制造商之一，西门子在SEMICON上发布了一款新的热管理系统(TMS)®今天欧罗巴。
新的智能TMS增加了反馈控制，准确地保持真空泵前线和排气管道的气体温度。未加热的管线可能会被冷凝的工艺原料和副产品堵塞。欧洲杯足球竞彩
智能TMS减少了维修人员清理这些危险材料的停机时间和风险。欧洲杯足球竞彩Smart TMS还通过可编程远程控制器提高了能源效率和功能，可轻松地与fab控制软件连接。
我们与我们的客户广泛合作，以提高他们的工艺生产率，以及他们的工厂安全。与冷凝相关的主要风险之一是排气管堵塞和随后的工艺中断。然而，还有其他严重的危害，可能会导致冷凝的材料在排气管。欧洲杯足球竞彩例如，在沉积过程中，部分反应的硅化合物在排气管中冷凝，随后在腔室清洗过程中暴露于氟，就会发生排气火灾。
拉尔夫·罗斯克，爱德华兹公司Semi & DSL业务线经理
为了应对冷凝威胁，提高系统安全性和生产率，Smart TMS系统控制泵排气口和减压阀进口之间的气体温度。它包括加热元件内的温度监测，使反馈控制精确地保持排气温度在指定的设定点。
Ralph补充道:“我们的全球应用团队能够全面地查看每个客户的系统，为他们的特定应用需求定制正确的解决方案。Smart TMS解决方案对平板显示器(FPD)和太阳能电池的制造商也很有价值，这些制造商使用类似的工艺，包括:化学气相沉积(CVD)、外延、氧化蚀刻和聚蚀刻，这些工艺有可能在排气管道中冷凝和沉积。”
Chris O 'Rourke, Edwards的应用经理，将在SEMICON Europa的20个项目上介绍“可凝气体管理”th2016年10月25日，周二，Fab Management Forum，第二场http://www.semiconeuropa.org/node/1301．
欲了解更多关于爱德华兹产品和服务的信息，请访问www.edwardsvacuum.com，或访问SEMICON Europa的858号展位。