Alicat的MCE系列和MCV系列直接更换普通行业质量流量控制器
Alicat Scientific的质量流量控制器确保真空室的最佳涂层环境，在涂层和溅射过程中保持产品的完整性。的MCE-Series和MCV-Series可用于取代遗留和停止的MKS仪器。为了适应与普通行业质量流量控制器相同的空间，两系都易于集成到现有系统中。在使用中，它们为工艺均匀性和质量提供快速，准确的流量控制。
Alicat MCE和MCV可精确控制气体流量，低至0-0.5 sccm满量程或高至0-20 slpm满量程，控制响应时间为50至100毫秒。快速响应时间可大大改善真空镀膜成品，并有助于消除目标中毒。集成的气动关闭阀通常关闭，提供1 x 10-9 atm-sccm/sec Helium max的积极关闭。
MCE可用作替代旧版MKS 1179A Mass-FLO®，而MCV替换已停用的MKS 2179A Mass-FLO®。Alicat质量流量控制器在通用12-30 VDC电源上运行，Alicat将与9引脚或15针D-Sub连接器上的任何预先存在的销钉匹配，便于更换。该单元可以在任何方向上安装，甚至倒置，无需重新校准，进一步简化安装。
预先编程有98个气体的校准，MCE和MCV测量质量流量，体积流量，绝对压力和温度，具有全温和压力补偿。可以通过仪器键盘或通过RS-232远程（也可用RS-485）直接通过仪器键盘进行编程。
MCE和MCV采用专利的层流差压（DP）技术，在许多Alicat科学仪器中发现，提供NIST可追溯认证，并携带CE标志。
了解有关艾丽卡大众流量计的更多信息，请访问www.alicat.com.，或致电+1 520 290-6060。