2016年12月7日
流动光刻是一种连续生成聚合物微结构的光刻方法，可用于生物检测、药物传递、细胞载体、组织工程和认证等各种应用。韩国的一个研究小组展示了使用振动技术来提高流动光刻产生的纳米结构的分辨率。
该技术使用数字光处理(DLP)投影仪，类似于投影电视，来生成光刻图案。通过重叠DLP投影仪的低分辨率帧，可以产生高分辨率的帧。本周杂志中描述的技术，应用物理快报这项技术可以改善3d打印机的性能。
DLP投影仪的核心是数字微镜装置(DMD)，这是一种通过微电子机械系统(MEMS)工艺制作的小型机电装置。DMD本质上是一组非常小的可控反射镜。通过反射来自镜面阵列的紫外光，并动态控制阵列的每个像素，投射出各种各样的紫外光图案。
然而，分辨率是严格限制的像素大小的DMD。增加DMD的分辨率以匹配其他光刻技术是一个挑战，这是通过使用这种振动技术解决的。
韩国首尔庆熙大学(Kyung Hee University)的物理学家Wook Park说:“Wobulation的原理很像把两个透明的格子背景叠在一起，结果会是一个看起来更密集的格子，但格子的正方形形状仍然很明显。”“如果我们将一层相对于另一层稍微移动一下，格子图案的不规则边缘就不那么明显了。同样地，我们试图通过曝光UV图案两次来更好地确定光刻边缘，第二次曝光相对于第一次曝光，并将每一层的曝光时间减半。使用这种振动技术，我们获得了一种效果，就好像在整个曝光时间内曝光了一个更高分辨率的图案。”
这种技术有几个好处。例如，在过去，高放大率镜头被用来提高光刻分辨率，但这缩小了视野。
使用这种方法，在保持相同视野的同时提高了分辨率，在不降低吞吐量的情况下降低了粗糙度。
下一步是创造更复杂的三维水凝胶微结构，可以成为定制的生物制造平台。这将使3-D打印机的发展，结合微流体设备和3-D打印技术，提供持续生产微载体的能力，结合生物材料。欧洲杯足球竞彩wobulation技术的应用将使基于dlp的3d打印机能够生产这些应用所需的更复杂的微结构。
该团队期待着实现这项技术的潜力。“开发3d打印机的最大挑战之一是提高分辨率，”Park说。“通过应用wobulation来解决这一挑战，我们希望能够提高已经商业化的DLP 3d打印机的性能。”
来源:https://www.aip.org/