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高精度微量水分变送器用于高纯度气体应用

米歇尔的Pura系列微量水分发射器用于气体纯度是至关重要的,甚至微量的水分都被认为是一种污染物的应用。

基于米歇尔的经过测试的陶瓷阻抗湿度传感器,Pura能够测量-120到-40°C之间的露点,或者,根据绝对湿度含量,1 ppbV126.71 ppmV.这种对干燥测量的关注优化了半导体制造等应用的性能,在半导体制造中,几乎完全没有水分对质量至关重要。

与所有的米歇尔露点发射机一样,Pura安装简单,易于操作。一个可选的显示器也可以创建一个高度精确,但成本效益高的湿度计。日常维护也很简单,因为普拉也包括在米歇尔仪器的传感器交换计划.有效地提供终身保修,交换计划允许用户确保他们的传感器总是校准,同时保持他们的过程运行。

除了半导体制造,Pura系列还广泛应用于光纤生产,光学涂层工艺和工业气体制造。

引用

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  • 美国心理学协会

    米歇尔仪器有限公司(2017年1月16日)。高精度微量水分变送器用于高纯度气体应用。AZoM。于2021年10月21日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=47098检索。

  • MLA

    米歇尔仪器有限公司“高纯度气体应用的高精度微量水分变送器”。AZoM.2021年10月21日。< //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=47098 >。

  • 芝加哥

    米歇尔仪器有限公司“高纯度气体应用的高精度微量水分变送器”。AZoM。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=47098。(2021年10月21日生效)。

  • 哈佛大学

    米歇尔仪器有限公司2017。高精度微量水分变送器用于高纯度气体应用.viewed september 21, //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=47098。

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