二次离子质谱(SIMS)是一种多功能、高灵敏度的技术，可用于从原子层到超过100纳米深度的表面成分分析。该技术利用一束高能离子的表面探测来置换和电离表面原子，通过质谱来获取和识别正负二次离子。
Hiden SIMS工作站的扩展范围包括基础研究仪器，通过集成负载锁定、样品操作和多样品载体的自动化质量控制应用。此外，四极SIMS探测器和离子/电子源元件可单独使用，以升级现有的表面分析工具与SIMS技术。所有的系统元件都是完全特高压兼容的，并具有隐藏双模MAXIM质谱仪，在二次离子检测模式下进行正负离子检测，在二次中性(SNMS)检测模式下进行正数据量化。质量范围扩展到5000 amu。
Hiden IG-20气源离子枪可以产生光斑大小可降至50微米的氧和惰性气体离子束。IG-5C离子枪带有隐藏的铯表面电离源，用于分析电负性物质，光斑大小只有20微米。EG-500电子枪提供绝缘表面的电荷中和。
MASsoft Professional SIMS PC数据系统能够对质谱仪、离子枪工作参数、离子束光栅面积和扫描速率进行完全控制，并实时显示采集的数据。ESM LabVIEW SIMS Imaging程序获取、存储和显示数据，以元素表面地图的形式呈现，具有2D和3D视图功能。
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