改善光刻技术未来的电子线路

制造纳米尺度模式与聚合物水电影

现代电子产品的需求不断的改善力量和速度。因此,电路变得越来越复杂,电路密度更高的趋势。为了制造电路在这些更高的密度,研究工作主要集中在品种的高分辨率光刻技术。这些技术包括电子束(EB), x射线和深紫外辐照。一种新方法是使用超薄电影和新材料。欧洲杯足球竞彩

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水(磅)技术是非常有效的方法来准备定义良好的超薄薄膜厚度控制和定位在分子水平上。由于这些属性,磅电影预计将导致超高分辨率光刻。

在AZojomo *发表的一篇论文中,研究者Tiesheng Li Masaya Mitsuishi和Tokuji Miyashita,来自郑州大学和东北大学,研究聚的光刻法的性质N-tetradecylmethacryl-amide-co -t丁基碳酸4-vinylphenyl) [p (TDMA -tBVPC)薄膜准备使用水(磅)技术。

他们能够创造一个稳定的单层共聚物显示积极的语调模式与深紫外光辐照后碱性水溶液和发展。蚀刻图形的分辨率为0.75µm,光掩模使用的分辨率极限。

结果表明,电影是适用于在未来光刻过程。

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