图片致谢:SENTECH
SENTECH是德国联邦教育和研究部“等离子体技术创新应用”资助项目“聚合物表面高柔性光学精密层研究(FlexCoPlas)”的项目合作伙伴。在三年的项目期间，利用SENTECH的技术诀窍开发了一种创新的测量方法和测量设备。在现场监测和生产控制的同时，实现了对弯曲塑料箔层叠层透射特性的精确控制。
SENTECH的项目工作在两个方面取得了成果:
首先，提出了一种基于现场传输测量的光纤宽带自适应监测策略。这是基于沉积过程中的自适应策略，以确定电流厚度，并计算电流子层的端点并发出信号。此外，已沉积堆栈的层变化(压实，折射率变化)被考虑在内。为了改进目标光谱的设计校正，在可行的情况下，使用石英晶体微天平数据进行匹配。超过10层可以评估和测量。最重要的是，沉积材料的折射率漂移与较大的总层厚度有关，在沉积过程中得到了更好的补偿。例如，可以在依赖于精确边缘位置和传输值的高质量滤波器层领域找到应用。
第二，SENTECH能够开发一种设备，对箔和透镜进行传输测量。它测量弯曲、波动、拉伸和/或微结构薄膜的薄膜参数。SENTECH测量头抑制了这些影响，在波长范围380 nm-2000 nm的稳健测量。新的测量头是专为桌面应用程序以及在线/在现场测量，例如滚到滚应用程序。样品对准的高接受范围的进一步应用是测量透镜的透射率。曲率的影响可以通过光学装置得到补偿。因此，例如，镜头上的防反射涂层可以很容易地控制。
FlexCoPlas项目资助了3年，于2017年完成。它研究了所谓的“第四元素”等离子体的可能使用案例，以及它在许多行业中作为关键元素的应用。目的是通过对等离子体沉积层的系统研究，获得显著的改进和创新。9家公司和研究机构参与了该项目。该项目由德国光子学研究中心的“等离子技术创新应用”项目资助，总金额为264万欧元。