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新的隐藏手册详细说明MS真空过程监视器

从希登分析2017年7月6日

图片来源:Hiden Analytical

Hiden分析发布了他们的新宣传册，具有专门为真空过程监测设计的全范围四极质谱仪。系统覆盖了从特高压(背景物种，泄漏检测)到毫巴(过程监控，控制和保护)的全压力范围。

Hiden HPR-30系统解决了更高的压力状态。与集成的干燥真空泵和超压保护一起，该系统配置为直接安装到工艺室。安装在高稳定的移动监测支柱上，系统可以随时垂直和水平调节，易于移动到可选的过程系统采样点。300 amu质量范围适用于大多数工艺环境，可为特殊应用提供其他质量范围选项。

在较低压力低于5 x10-3毫巴的双模希登HMT残余气体分析仪(RGA)利用法拉第探测器高压操作但运作在特高压和低压电子倍增器检测和full-sensitivity给2分压检测x10-13毫巴,超过10年的动态范围。HALO和HAL RGA系列经过优化，可在较低的压力状态下运行，具有广泛的质量范围选项，可达1000 amu，最小可检测分压可达5X10-15毫巴。所有系统都可以在一个共同的光谱表示中集成过程(例如温度)和质谱仪数据。

引用

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美国心理学协会
针孔分析。(2017年,06年7月)。新的隐藏手册详细说明MS真空过程监视器。AZoM。于2021年7月31日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=47910检索。
MLA
针孔分析。“新的隐藏手册详细介绍MS真空过程监视器”。AZoM．2021年7月31日。< //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=47910 >。
芝加哥
针孔分析。“新的隐藏手册详细介绍MS真空过程监视器”。AZoM。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=47910。(2021年7月31日通过)。
哈佛大学
希登分析》2017。新的隐藏手册详细说明MS真空过程监视器．viewed september 21, //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=47910。